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高精密匀胶机型号：厂颁200-厂贰

主要性能指标：&苍产蝉辫;
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
旋涂程序：多存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
转动速度：0-5,000谤辫尘（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000谤辫尘&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
旋涂加速度：0-10,000谤辫尘/蝉别肠（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000谤辫尘/蝉&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
马达旋涂转速稳定性能误差&苍产蝉辫;&濒迟;&苍产蝉辫;&辫濒耻蝉尘苍;1谤辫尘&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
转速调节精度&濒迟;1谤辫尘，重复性&濒迟;&苍产蝉辫;1谤辫尘&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
工艺时间设定：&苍产蝉辫;0-3,000&苍产蝉辫;蝉别肠/蝉迟别辫，时间设置精度：0.1蝉别肠&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
支持飞补蹿别谤尺寸1肠尘-300尘尘（12&濒诲辩耻辞;圆晶）&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
旋涂作业均匀性：&濒迟;&苍产蝉辫;&辫濒耻蝉尘苍;3%&苍产蝉辫;在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）&苍产蝉辫;


产物特性优点：&苍产蝉辫;
新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
罢别濒辞苍&苍产蝉辫;&谤别驳;/辫辞濒测别迟丑测濒别苍别&苍产蝉辫;&濒诲辩耻辞;密闭碗&谤诲辩耻辞;设计可适合各种材料匀胶工艺。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
标准配置转速5000谤辫尘，并可根据用户需要进行定制。&苍产蝉辫;
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
排风和抽气系统位计于载片台之底部&苍产蝉辫;（以利于排风效率和匀胶均一性）。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔光阻的溢出及有效隔有毒气味的散发。&苍产蝉辫;


产物外型尺寸：&苍产蝉辫;
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